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Precision Nanometrology

- Sensors and Measuring Systems for Nanomanufacturing

von Wei Gao

enthalten in Springer Series in Advanced Manufacturing-Reihe

Precision Nanometrology von Wei Gao Sie sparen 13% des UVP sparen 13%
Über Precision Nanometrology

Precision Nanometrology describes the new field of precision nanometrology, which plays an important part in nanoscale manufacturing of semiconductors, optical elements, precision parts and similar items.

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  • Sprache:
  • Englisch
  • ISBN:
  • 9781849962537
  • Einband:
  • Gebundene Ausgabe
  • Seitenzahl:
  • 354
  • Veröffentlicht:
  • 28. Juni 2010
  • Abmessungen:
  • 165x241x28 mm.
  • Gewicht:
  • 702 g.
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Beschreibung von Precision Nanometrology

Precision Nanometrology describes the new field of precision nanometrology, which plays an important part in nanoscale manufacturing of semiconductors, optical elements, precision parts and similar items.

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