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Über Subsecond Annealing of Advanced Materials

The thermal processing of materials ranges from few fem to seconds by Swift Heavy Ion Implantation to about one second using advanced Rapid Thermal Annealing.

Sprache:
Englisch

ISBN:
9783319031309

Verlag:
Springer International Publishing AG

Einband:
Gebundene Ausgabe

Seitenzahl:
321

Veröffentlicht:
30. Dezember 2013

Ausgabe:
2014

Abmessungen:
159x242x23 mm.

Gewicht:
652 g.

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