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Über Subsecond Annealing of Advanced Materials

The thermal processing of materials ranges from few fem to seconds by Swift Heavy Ion Implantation to about one second using advanced Rapid Thermal Annealing.

Sprache:
Englisch

ISBN:
9783319352879

Verlag:
Springer International Publishing AG

Einband:
Taschenbuch

Seitenzahl:
321

Veröffentlicht:
23. August 2016

Ausgabe:
12014

Abmessungen:
235x155x18 mm.

Gewicht:
5153 g.

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The thermal processing of materials ranges from few fem to seconds by Swift Heavy Ion Implantation to about one second using advanced Rapid Thermal Annealing.

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